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光氧催化设备

国林科技:公司电子级超纯臭氧气体发生器可用于光刻胶去除和多种清洁使用

时间: 2024-12-10 19:57:24 |   作者: 华体会竞猜

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设备基本介绍

  同花顺300033)金融研究中心10月29日讯,有投资者向国林科技300786)发问, 贵公司的产品哪些可以使用到光刻胶和光刻机范畴?

  公司答复表明,敬重的投资者,您好。公司电子级超纯臭氧气体发生器可发生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧,臭氧在电子工业范畴可被大范围的使用在构成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物成长、光 刻胶去除和多种清洁使用;公司暂未触及光 刻机事务。感谢您的重视。